浏览数量: 18 作者: 本站编辑 发布时间: 2025-11-03 来源: 本站
常见改性工程塑胶材料如下:
抗静电 PC(聚碳酸酯)
适用于透明视窗、防尘罩,有效防止灰尘吸附,维持设备清洁。
静电消散 POM(聚甲醛)
经改性后用于滑块与导轨,可降低静电对机械精密零件的影响;但静电性能会随湿度及时间衰退,需注意稳定性。
静电消散 PEEK(聚醚醚酮)
耐高温、耐化学品且具稳定的静电消散性,广泛用于晶圆盒、载具与夹具,适合高洁净室制程。
静电消散 PEI(聚醚酰亚胺)
改性后能长期维持稳定静电特性,适合高温环境中的连接器与结构零件。
这些材料透过共混导电填料(如碳纤维、碳黑或导电高分子)来达成静电控制效果,并保持原有的机械强度。


静电控制材料可依照电阻值的不同分为四种类型,每一种的应用场景与特性如下:
抗静电 (Anti-Static)
可防止静电于物体表面累积,降低放电风险,但不主动导电。
适用于电子元件包装、防尘罩、测试治具等环境,防止静电吸附灰尘或损坏零件。
静电消散 (Dissipative)
可让静电以受控速度缓慢释放至地面,电阻介于导电与绝缘之间。
常见于半导体制造设备、工作檯面、防静电地板及电子夹具。
导电 (Conductive)
电荷可自由流动,电阻极低(10³~10⁵ Ω),用于需要快速导电的接地系统或导电连结元件,如碳纤维强化塑胶、金属导体等。
绝缘 (Insulative)
阻止电流通过,电阻大于10¹² Ω,常用于防止电击、电子元件外壳与绝缘板等应用。
在电子与半导体制程中,静电是造成损坏的隐形杀手。
人员走动、摩擦、搬运晶圆盒等动作皆会产生静电累积,若未妥善导除,可能导致以下问题:
静电放电(ESD)造成敏感晶片或IC元件瞬间击穿。
干燥空调环境中,静电不易消散,增加放电机率。
高精密电子设备对静电干扰(EMI)的容忍度低,易产生误差或失效。
因此,现代厂房普遍採用电阻值介于10⁶~10⁹ Ω 的静电消散材料,以在安全范围内有效释放静电。
材料的电阻特性可分为两种测试方式:
表面电阻:使用探针法测量样品表面之电压与电流比值,反映静电在表面的导电性。
体积电阻:测量材料内部的导电特性,将电极夹于样品两侧施加电压,计算电流流量。
测试需在控制温湿度环境下进行,确保结果的重现性与准确度。
半导体元件的尺寸极小、电压承受度低,即使微小的静电放电也会导致永久性损坏或电路短路。
因此,制程中所有材料与设备——包括地板、治具、手套、包装、甚至空气湿度——都需严格控制静电。
透过使用抗静电与静电消散材料,可有效:
提升产品良率与一致性;
减少静电吸附造成的灰尘污染;
保护人员与设备安全;
降低维修与报废成本。
可依电阻范围选用适当材料(单位:欧姆 Ω):
| 类别 | 电阻范围 | 特性与应用 |
|---|---|---|
| 导电 | 10³~10⁵ | 高导电性,适用于接地线与导电构件 |
| 静电消散 | 10⁶~10⁹ | 缓慢导电,防止ESD,适用于电子夹具 |
| 抗静电 | 10⁹~10¹² | 防止静电累积,适用于防尘与安全环境 |
| 绝缘 | >10¹² | 阻隔电流,应用于电气绝缘或外壳 |
随着半导体与AI产业技术提升,静电控制材料正朝向更高稳定性与洁净等级发展:
无碳污染型抗静电材料(避免黑点污染);
长期稳定的静电消散聚合物;
可回收环保型抗静电塑胶。
未来的静电管理不仅关乎产品安全,更是企业提升制程良率与永续经营的关键。
正确选择与应用材料,可有效避免静电放电(ESD)与电磁干扰(EMI),确保产品稳定、高效与安全。
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